【案例简介】

安徽见行科技有限公司（以下简称见行科技公司）向安徽省知识产权保护中心（以下简称安徽保护中心）先后提交了5件发明、3件实用新型专利预审案件“一种间隙检测专用电涡流传感器探头”“一种基于玻璃基体的精准尺寸感应式测量仪器”“一种变行程的微尺度电容式测量仪器”“一种角度可调整式微尺度电容式测量仪器”“一种用于安装镜片测量仪器的固定组件及测量仪器”“一种用于微尺度测量的防漂移涡流传感器”“一种电涡流传感器系统”“电容式位移传感器”。预审员王欣竹、张云龙、何鸣飞受理后，认定该系列申请在超高精度位移传感器低热敏感接触探头、可变线长调理电路、抗干扰稳态精密夹持、自适应安装位姿校正等方面进行了重要创新。此外，预审员还对权利要求书、说明书及附图中可能影响授权的问题，提出了具体优化建议，指导申请文本的完善，发出预审合格通知书。见行科技公司向国家知识产权局提交正式申请进入快速审查通道后，8件专利成功获得授权（ZL 2025 2 2147648.8、ZL 2026 1 0449902.6、ZL  2026 1 0449901.1、ZL 2026 1 0454618.8、ZL 2026 1 0467839.9、ZL 2026 1 0434837.X、ZL 2026 2 1077199.2、ZL 2026 2 1183811.4），其中，发明专利平均授权周期57天，实用新型专利平均授权周期13天。

该系列专利涉及精密测量技术领域，具体涉及电容位移传感器及电涡流位移传感器。作为两类高精度非接触式位移量测器件，电容位移传感器具有亚纳米级的分辨能力以及百微米到毫米的量程，电涡流位移传感器具有纳米级的分辨能力以及百微米级的量程，二者被应用于天文观测、航天装配、尖端芯片制造中，满足科学研究和工业生产中尺寸控制、间隙检测和精密定位需求。电容/电涡流位移传感器量程极小，复杂场景下测量面与被测量面之间随机性初始间距/角度偏差远超传感器有效测量范围，难以配置传感器严苛测量环境，宽间隙中机械调距易应力损伤被测量面，窄间隙中非预期接触易物理损伤线圈，金属夹具电磁干扰感应信号，环境温变与振动进一步加剧热失配和基准漂移，造成传感器测量结果失真与波动。该系列专利涉及电容/电涡流位移传感器的探头、夹持和定位系统，从提升传感器自身性能和优化测试测量环境两方面出发，以低热敏感接触探头、可变线长调理电路、抗干扰稳态精密夹持、自适应安装位姿校正等组合创新，系统性抑制传感器热失配、电磁干扰、安装基准、角度偏差、接触损伤和电路漂移。专利“电容式位移传感器”采用探头极板与金属凸点无胶水接触的安装构造，降低测量方向上的热失配漂移；专利“一种电涡流传感器系统”通过将直流偏置电压与交流激励信号叠加至探头电路进行信号调理，消除同轴电缆线长差异带来的等效分布电容影响；专利“一种用于微尺度测量的防漂移涡流传感器”针对生产测试场景，采用玻璃玻璃基体三点定位弹性夹持结构，解决金属夹具电磁干扰、塑料夹具变形漂移及多部件误差累积导致的传感器定位精度问题；“一种变行程的微尺度电容式测量仪器”、“一种角度可调整式微尺度电容式测量仪器”、“一种基于玻璃基体的精准尺寸感应式测量仪器”、“一种用于安装镜片测量仪器的固定组件及测量仪器”结合多档位高度调节、双触点弹性定位、角度检测及自适应调整目标载体角度等方式，解决光学非共面镜片难以适配传感器测试条件的问题；“一种间隙检测专用电涡流传感器探头”通过可伸缩支撑杆撑起探头，测量线圈可以无损伸进窄间隙中进行稳定检测。

图为电容位移传感器

图为电涡流位移传感器

【典型意义】

安徽见行科技有限公司依托安徽省知识产权保护中心专利预审通道获得8件专利的快速授权。该系列专利技术相互衔接，从传感器件的设计、测试工具的生产到测量条件的应用，贯穿超高精密位移传感器的全生命周期，始终聚焦行业痛点，大幅降低产品的系列漂移，为超高精密位移传感器的工业应用提供先进技术方案。目前，该系列专利技术正逐步转化为现实生产力，其电容/电涡流位移传感器产品的核心性能对标国际一线品牌，在测量精度、稳定性和环境适应性等关键指标上实现同等水平，在温漂、时漂抑制技术方面优于国外同类产品，助力公司成为国产半导体设备及大口径天文望远镜的核心供应商或独家供应商，为我国前沿尖端科研事业掌握自主可控的技术能力提供关键支撑。

【企业简介】

安徽见行科技有限公司成立于2019年，核心团队来自中国科学技术大学精密传感与致动实验室，公司致力于超高精密位移传感及致动技术的研发及产业化，以“纳米级精度、亚纳米级分辨率”为核心技术追求，为半导体、高端装备、航空航天、大科学装置等领域提供覆盖“超高精密位移传感-大负载跨尺度驱动-多自由度运动控制”全链条的创新解决方案。公司拥有10000m²科研及生产场地，其中万级、千级、百级洁净车间900m²，是国家高新技术企业、安徽省专精特新中小企业，先后承担7项国家、省部级重点研发专项，参与制定4项国家标准，获得机械工业科学技术奖、中国仪器仪表学会科技进步奖、中电联电力创新奖、第43届日内瓦国际发明展“金奖”，被评为2023中国自动化领域年度创新成长企业，相关成果入选工信部2024年首台套重大技术装备、国家能源局第四批首台套重大技术装备。

截至目前，见行科技公司通过安徽保护中心专利预审快速审查通道累计提交了34件专利申请，已授权23件。