【案例简介】

蒙城繁枫真空科技有限公司（以下简称繁枫真空公司）于2024年7月4日向安徽省知识产权保护中心（以下简称安徽保护中心）提交了发明专利预审案件“一种饱和气体等级分流模式的蒸发源”。预审员殷超群受理后，经深入研究该申请所涉及的蒸发源设备相关技术，并对比现有技术，认定本申请在控制蒸发条件、提高镀膜效果上对蒸发源结构进行了重要创新。此外，预审员指导合理划定权利要求保护范围，并对说明书附图中可能影响审查的问题，提出了具体优化建议，协助申请人在答复期限内高效完善申请文本，于2024年7月10日发出预审合格通知书。繁枫真空公司向国家知识产权局提交正式申请进入快速审查通道后，于2024年8月16日获得授权（ZL 2024 1 0919353.5），并且在实质审查阶段一次性获得授权，授权周期仅为37天。

本专利涉及蒸镀技术领域，具体为一种饱和气体等级分流模式的蒸发源。蒸发源是镀膜设备中实现膜层沉积的核心部件之一，通过将涂层材料加热到一定温度，使其升华成气态物质，最终在基材表面上形成膜层。由于现有设备难以根据不同的蒸发材料和使用需求灵活调整蒸发气流的流量大小，导致气流不均匀，影响镀膜的均匀性。本专利蒸发源设计了一种结构较为简单的加热、开合机构，该加热机构通过模块化设计能够适应不同种类材料的蒸发需求，确保了蒸发材料在加热过程中的稳定性，同时利用开合机构实现蒸发源气体的有效分流，可根据实际需要精确、快捷控制气流的流量和蒸发速率，此外，还设计有调节机构，可根据镀膜产品的工艺需求，在真空镀膜室内灵活调整气流喷射范围，从而实现更好的镀膜效果，提高镀膜产品质量。

图为应用本专利蒸发源的轻量化钢带真空镀锌设备

【典型意义】

蒙城繁枫真空科技有限公司通过安徽保护中心专利预审通道获得“一种饱和气体等级分流模式的蒸发源”发明专利的快速授权。本专利蒸发源作为真空传输镀膜技术装备的核心部件，通过精确控制蒸发源的位置和蒸发条件（如温度梯度、载气流压力等），能够适应不同类型镀膜需求，显著提升镀膜均匀性和沉积速率，实现镀膜速率较传统溅射技术提升约十倍，推动行业镀膜技术进一步向幅宽≥1700mm、膜层不均匀性≤3%的关键指标迈进，为镀膜装备国产化替代进程奠定关键技术基础。

【企业简介】

蒙城繁枫真空科技有限公司成立于2018年，位于亳州市蒙城县经济开发区，占地176亩，是国家级高新技术企业、国家级专精特新重点“小巨人”企业和国家级绿色工厂。公司致力于高端真空装备的研发、制造与系统集成，核心产品包括高真空油扩散泵、磁悬浮分子泵、真空镀膜装备、碲化镉薄膜太阳能电池成套设备及真空镀锌板装备等，广泛应用于航天、新能源、电子制造、光学镀膜等领域，自主研发的PGTVD（增压气相传输可控定向沉积）技术打破国外垄断，首条产线已在开封落地并实现10亿元订单，第二条产线已在蒙城投资建设，设备合同价值8.6亿元。公司设有省级企业技术中心、博士后科研工作站和85人的专职研发团队，其中包含国家“万人计划”人才1人、国家“启明计划”人才2人、博士5人，并与钢研工程设计有限公司（中国钢研）、合肥工业大学、西安电子科技大学、上海大学等高校科研院所保持紧密的产学研合作。

截至目前，蒙城繁枫真空科技有限公司通过安徽省知识产权保护中心专利预审快速审查通道累计提交了18件发明专利申请，已授权15件。

（典型案例报送：https://www.ahippc.cn/view/ccd20ffb47b84ff2a12276023ae55c50.html）